書誌情報｡

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資料の種別｡ 図書｡ 資料情報のコピー
タイトル｡ 半導体微細パターニング(ハンドウタイ ビサイ パターニング)｡
副書名｡ 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術(ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ)｡
著者名等｡ 岡崎信次∥監修(オカザキ,シンジ)｡
統一著者名｡ 岡崎 信次｡
出版者｡ エヌ・ティー・エス／東京｡
出版年｡ 2017.4｡
ページと大きさ｡ 382,12p／27cm｡
一般注記｡ 索引あり｡
件名｡ リソグラフィー｡
半導体｡
ナノインプリント｡
分類｡ NDC8 版：549.7｡
NDC9 版：549.7｡
NDC10 版：549.7｡
ISBN｡ 978-4-86043-467-0｡
4-86043-467-6｡
9784860434670｡
4860434676｡
価格｡ 40000円｡
タイトルコード｡ 4494078｡

貸出情報｡

所蔵数｡ 館内でのみ利用可能な資料｡ 貸出可能な資料｡ 貸出中の資料｡ 予約数｡
所蔵数
1 冊
館内でのみ利用可能な資料
0 冊
貸出可能な資料｡
1 冊
貸出中の資料
0 冊
予約数
0 件

所蔵情報｡

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番号｡ 資料番号｡ 請求記号｡ 状態｡ 配架場所  配架案内｡
1｡
資料番号：
143522316｡
請求記号：
3-5497-ｵ｡
状態：
在架｡
配架場所：
書庫（一般）  一般資料室カウンターでご請求ください｡
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