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資料の種別 図書 資料情報のコピー
タイトル フォトレジスト材料開発の新展開(フォトレジスト ザイリョウ カイハツ ノ シンテンカイ)
著者名等 上田充∥監修(ウエダ,ミツル)
統一著者名 上田 充
版次 普及版
出版者 シーエムシー出版/東京
出版年 2015.11
ページと大きさ 317p/26cm
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
件名 感光性樹脂
リソグラフィー
分類 NDC8 版:578.4
NDC9 版:578.4
ISBN 978-4-7813-1039-8
4-7813-1039-7
価格 5000円
タイトルコード 4375733
マーク№ 172844900

貸出情報

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番号 資料番号 請求記号 状態 配架場所  配架案内
1
資料番号:
143435899
請求記号:
G-5784-ウ
状態:
在架
配架場所:
一般資料室  にあります
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