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資料の種別｡ 図書｡ 資料情報のコピー
タイトル｡ 液浸リソグラフィのプロセスと材料(エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ)｡
著者名等｡ 東木達彦∥監修(ヒガシキ,タツヒコ)｡
統一著者名｡ 東木 達彦｡
版次｡ 普及版｡
出版者｡ シーエムシー出版／東京｡
出版年｡ 2012.8｡
ページと大きさ｡ 243p／26cm｡
シリーズ名｡ エレクトロニクスシリーズ｡
件名｡ リソグラフィー｡
分類｡ NDC8 版：549.7｡
NDC9 版：549.7｡
ISBN｡ 978-4-7813-0550-9｡
4-7813-0550-4｡
価格｡ 3800円｡
タイトルコード｡ 4128690｡
マーク№｡ 134385200｡

貸出情報｡

所蔵数｡ 館内でのみ利用可能な資料｡ 貸出可能な資料｡ 貸出中の資料｡ 予約数｡
所蔵数
1 冊
館内でのみ利用可能な資料
0 冊
貸出可能な資料｡
1 冊
貸出中の資料
0 冊
予約数
0 件

所蔵情報｡

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番号｡ 資料番号｡ 請求記号｡ 状態｡ 配架場所  配架案内｡
1｡
資料番号：
142623727｡
請求記号：
G-5497-ﾋ｡
状態：
在架｡
配架場所：
一般資料室  にあります｡
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