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タイトル プラズマ/プロセスの原理(プラズマ プロセス ノ ゲンリ)
著者名等 Michael A.Lieberman∥著(リーバーマン,マイケル・A.)
Allan J.Lichtenberg∥著(リヒテンバーグ,アラン・J.)
佐藤久明∥訳(サトウ,ヒサアキ)
堀勝∥監修(ホリ,マサル)
統一著者名 リーバーマン,マイケル・A.
リヒテンバーグ,アラン・J.
佐藤久明
堀勝(1958〜)
版次 第2版
出版者 丸善
出版年 2010年
ページと大きさ 612p/26cm
一般注記 Principles of plasma discharges and materials processing.2nd ed.の翻訳
初版:EDリサーチ社2001年刊
文献あり 索引あり
件名 プラズマ
薄膜
分類 NDC8 版:427.6
ISBN 978-4-621-08223-2
価格 18000円
タイトルコード 2285117
マーク№ 110072600

貸出情報

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番号 資料番号 請求記号 状態 配架場所  配架案内
1
資料番号:
142856632
請求記号:
3-4276-リ
状態:
在架
配架場所:
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