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資料の種別 図書 資料情報のコピー
タイトル 半導体デバイス(ハンドウタイ デバイス)
副書名 基礎理論とプロセス技術(キソ リロン ト プロセス ギジュツ)
著者名等 S.M.ジィー∥著(シー,S.M.)
南日康夫∥訳(ナンニチ,ヤスオ)
川辺光央∥訳(カワベ,ミツオ)
長谷川文夫∥訳(ハセガワ,フミオ)
統一著者名 シー,S.M.
南日康夫
川辺光央
長谷川文夫
版次 第2版
出版者 産業図書
出版年 2004年
ページと大きさ 499p/27cm
一般注記 Semiconductor devices.2nd ed.の翻訳
文献あり 索引あり
件名 半導体
分類 NDC8 版:549.8
目次 第1部 半導体物理(エネルギーバンドと熱平衡状態におけるキャリア密度 キャリアの輸送現象)
第2部 半導体デバイス(p-n接合 バイポーラ・トランジスタとその関連デバイス MOSFETと関連デバイス ほか)
第3部 半導体技術(結晶成長とエピタキシィ 薄膜の形成 リソグラフィとエッチング ほか)
ISBN 4-7828-5550-8
価格 6600円
タイトルコード 1730431
内容紹介 本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
マーク№ 041699200

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番号 資料番号 請求記号 状態 配架場所  配架案内
1
資料番号:
140360694
請求記号:
G-5498-シ
状態:
在架
配架場所:
一般資料室  にあります
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